[发明专利]用于半导体制造设备内的晶片盒输送的装置和方法

摘要

本发明涉及一种用于半导体制造设备中晶片盒输送的改进装置和方法。本发明包括具有通信系统和控制系统的导引车辆以及具有用于从设备中的站台传送和接收晶片盒的机构的拖车。该拖车连接到导引车辆上并具有用于晶片盒输送的隔间，但比导引车辆具有较少的部件。因此，本发明减少了制造成本，但使得晶片盒输送能力加倍。

主权项

1.一种用于半导体制造设备中的晶片盒输送的装置，包括：具有隔间和机构的拖车，所述隔间用于存储晶片盒，所述机构用于将所述晶片盒从所述隔间传送到所述半导体制造设备中的多个站台中的一个并用于将所述晶片盒从所述半导体制造设备中的多个站台中的一个接收到所述隔间中；以及具有通信系统和控制系统并连接到所述拖车上的导引车辆，所述通信系统从材料控制系统(MCS)接收指令，所述指令包括所述晶片盒从所述拖车中的所述隔间到所述半导体制造设备中的多个站台中的一个的传送以及所述晶片盒从所述半导体制造设备中的多个站台中的一个到所述拖车的所述隔间的接收之中的一个；控制系统协调所述拖车到所述指令中描述的所述半导体制造设备中的所述多个站台中的一个的输送，并且引发所述拖车的所述机构响应于来自该MCS的传送指令的接收进行传送，并且引发所述拖车的所述机构响应于来自所述MCS的接收指令的接收进行接收。