[发明专利]故障报警装置及故障报警方法有效
| 申请号： | 200610148247.3 | 申请日： | 2006-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN101209541A | 公开（公告）日： | 2008-07-02 |
| 发明（设计）人： | 张溢钢 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B24B55/00 | 分类号： | B24B55/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种故障报警装置，包括：运行指令捕捉装置，用于捕捉化学机械抛光设备开始运行的指令；工作状态信号捕捉装置，用于捕捉化学机械抛光设备是否处于设定工作状态的工作状态信号；计时报警装置，在运行指令捕捉装置捕捉到化学机械抛光设备运行的指令且工作状态信号捕捉装置捕捉到化学机械抛光设备处于设定工作状态的工作状态信号时开始计时；当处于设定工作状态的工作状态信号持续时间超时，报警。所述装置在化学机械抛光设备工作过程中，出现电脑或者控制软件以及化学抛光设备断电的突发故障时，可以及时报警通知工程师排除故障，避免抛光设备内的晶圆报废。本发明还提供了故障报警方法。 | ||
| 搜索关键词： | 故障 报警装置 报警 方法 | ||
【主权项】：
1.一种故障报警装置，其特征在于，包括：运行指令捕捉装置，用于捕捉化学机械抛光设备开始运行的指令；工作状态信号捕捉装置，用于捕捉化学机械抛光设备是否处于设定工作状态的工作状态信号；计时报警装置，在运行指令捕捉装置捕捉到化学机械抛光设备运行的指令且工作状态信号捕捉装置捕捉到化学机械抛光设备处于设定工作状态的工作状态信号时开始计时；当处于设定工作状态的工作状态信号持续时间超时，报警。
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