[发明专利]一种可变倍率投影光学系统

摘要

本发明提供一种可变倍率投影光学系统，涉及半导体光刻及照相制版等装置。现有的投影光学系统存在工作距离短等问题，另外实际应用中还要考虑物镜热效应、环境影响等补偿问题。本发明的可变倍率投影光学系统沿其光轴方向包括反射棱镜组、正透镜组、望远透镜组和凹球面反射镜，望远透镜组和凹球面反射镜之间还包括一变倍组，由一个弯月薄透镜组成，其凸面朝向凹球面反射镜。较佳地，该可变倍率投影光学系统还包括一变倍控制驱动装置，通过驱动变倍组沿光轴方向移动，实现倍率调节。本发明不仅扩大了工作距离，缩短了光学系统的总长，而且通过倍率调整可以补偿物镜热效应、环境影响等引起的倍率漂移，并确保系统成像质量控制在可接受范围之内。

主权项

1.一种可变倍率投影光学系统，沿其光轴方向包括：一个反射棱镜组，由物方反射棱镜、像方反射棱镜组成，都具有相应的入射和出射平面，物方反射棱镜入射面朝向所述光学系统的物平面，像方反射棱镜出射面朝向所述光学系统的像平面；一个正透镜组，由一个平凸透镜和一个弯月厚透镜组成；一个望远透镜组，由一个凹凸透镜、一个双凸透镜组成的正透镜组和一个双凹负透镜组成；一个弯月薄透镜；一个凹球面反射镜；所述正透镜组的平凸透镜和弯月厚透镜的凸面均朝向凹球面反射镜，其特征在于：所述望远透镜组和凹球面反射镜之间还包括一个变倍组，该变倍组由一个弯月薄透镜组成，其凸面朝向凹球面反射镜。