[发明专利]一种复合型的场效应晶体管结构有效
申请号: | 200610149078.5 | 申请日: | 2006-11-24 |
公开(公告)号: | CN101005071A | 公开(公告)日: | 2007-07-25 |
发明(设计)人: | 姚云龙;吴建兴;张邵华 | 申请(专利权)人: | 杭州士兰微电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/06 | 分类号: | H01L27/06;H01L21/822 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 李家麟;王勇 |
地址: | 310012*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明揭示了一种复合型的场效应晶体管结构,它包括:横向双扩散N型金属氧化物场效应管(NLDMOS)和N型结型场效应管(NJFET)。本发明也揭示了一种复合型场效应管的制造方法,它包含:将N型外延(102)内的N+扩散层(112)形成所述NLDMOS和所述NJFET共同的漏区,并且将所述N型外延(102)的所述N+扩散层(112)形成连接电极作为所述NLDMOS和所述NJFET共同的漏极。采用本发明的所述结构和制造方法,可有效降低芯片面积,不仅能提供NLDMOS的栅极初始电压,还可有效关断NLDMOS,从而极大地降低功耗。 | ||
搜索关键词: | 一种 复合型 场效应 晶体管 结构 | ||
【主权项】:
1.一种场效应晶体管结构,其特征在于,它包含:横向双扩散金属氧化物场效应管(LDMOS)和结型场效应管(JFET),所述的LDMOS和所述的JFET均有各自的源区和栅区,并且所述的LDMOS和所述的JFET共用相同的漏区。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
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