[发明专利]作为对准标记的二进制正弦子波长格栅有效
| 申请号： | 200610149314.3 | 申请日： | 2006-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN1983036A | 公开（公告）日： | 2007-06-20 |
| 发明（设计）人： | R·J·F·范哈伦;S·穆萨 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F1/14;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 张雪梅;梁永 |
| 地址： | 荷兰费*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明涉及作为对准标记的二进制正弦子波长格栅，更具体地说涉及用于衬底上的对准标记，所述对准标记包括周期的2维阵列结构，所述结构的间隔小于对准束但是大于曝光束，以及所述结构的宽度从阵列的一端正弦地变化到另一端。 | ||
| 搜索关键词： | 作为 对准 标记 二进制 弦子 波长 格栅 | ||
【主权项】：
1、一种衬底，具有设置在其上的对准标记，其包括周期阵列结构，该阵列具有第一和第二端；以及所述结构处于小于对准辐射束的波长的间距，其中所述结构的宽度在一周期内变化，使得局部相位从阵列的第一端正弦地变化到第二端。
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