[发明专利]液滴喷出装置无效
申请号: | 200610149375.X | 申请日: | 2006-11-16 |
公开(公告)号: | CN1966274A | 公开(公告)日: | 2007-05-23 |
发明(设计)人: | 三浦弘纲;岩田裕二 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | B41J3/407 | 分类号: | B41J3/407;B41J2/175;B41J2/045;B41J2/14;B41J2/01;B41J25/24;B41J29/38;H01L21/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 汪惠民 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 液滴喷出装置包括向对象物喷出液滴的液滴喷出单元。所述液滴喷出单元被搭载于多关节机器人,所述多关节机器人使所述液滴喷出单元在所述对象物的上方在二维方向上移动。所述液滴喷出单元具有:液滴喷头、液状体箱、和自封闭阀。自封闭阀将从所述液状体箱供给到所述液滴喷头的液状体的压力控制为规定的压力。所述自封闭阀具有阀体,该阀体对应于所述液滴喷头一侧的液状体的压力与所述液状体箱一侧的液状体的压力之间的压差,能够在闭锁位置与开放位置之间移动。配置所述阀体,使得产生可以使所述阀体从所述闭锁位置向所述开放位置移动的力的加速度的方向,与在所述二维方向上移动时的所述液滴喷出单元的加速度的方向不同。 | ||
搜索关键词: | 喷出 装置 | ||
【主权项】:
1.一种液滴喷出装置,其具有:向对象物喷出液滴的液滴喷出单元;和搭载所述液滴喷出单元,并使所述液滴喷出单元在所述对象物的上方在二维方向上移动的多关节机器人,该液滴喷出装置的特征在于:所述液滴喷出单元具有:喷出所述液滴的液滴喷头;在所述液滴喷头的上方收纳液状体的液状体箱;以及自封闭阀,其配置在所述液滴喷头和所述液状体箱之间,并将从所述液状体箱供给到所述液滴喷头的液状体的压力控制为规定的压力,所述自封闭阀具有阀体,所述阀体能够对应于所述液滴喷头一侧的液状体的压力与所述液状体箱一侧的液状体的压力之间的压差,在闭锁位置与开放位置之间移动,所述阀体配置为,产生可以使所述阀体从所述闭锁位置向所述开放位置移动的力的加速度的方向,与在所述二维方向上移动时的所述液滴喷出单元的加速度的方向不同。
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