[发明专利]具有外腔的单空间模式输出的多模干涉激光二极管

摘要

本发明涉及常规的具有单模输出的大面积激光器，利用了渐变折射率波导中的多模干涉(MMI)现象。本发明的另一方面涉及结实的多模复合激光腔设计，所述多模复合合激光腔设计由几何结构及MMI区域的折射率截面所完全确定，所述MMI区域对由于制造变化或温度引起的微小的宏观尺度折射率的变化不敏感。由于自成像位置随折射率线性地偏移，可将共焦束流参数设置得相对长些。

主权项

1.一种高功率激光器，包括：位于半导体片上的平面多模光增益区域，所述平面多模光增益区域在第一低反射率面和后反射面之间延伸；用于电泵浦所述多模光增益区域以提供光增益的装置；位于光片上的平面无源多模干涉区域，所述平面无源多模干涉区域在第二低反射率面和输出端之间延伸，所述输出端被耦合至单模波导，以提供激光器的输出；以及与所述单模波导光耦合的光反射器，因而，由所述光反射器和所述后反射面而界定激光腔；其中，所述第一和第二低反射率面被光耦合，以在后反射面和平面无源多模干涉区域的输出端之间形成复合多模干涉区域，所述复合多模干涉区域的长度等于若干个自成像距离。