[发明专利]电子束加速器及其具有导电层或涂层的陶瓷级

摘要

本发明公开了一种电子束加速器及其具有导电层或涂层的陶瓷级。该陶瓷电子束加速器在X射线电子电路成像和测试应用中特别有用。这种陶瓷级设计消除了在加速器的邻接的级之间放置金属加固物的必要，从而提高了加速器的机械强度和可靠性，同时还降低了制造成本。

主权项

1.一种用于电子束加速器的级，所述级包括含陶瓷体，所述体包括内部部分和外部部分，中心孔穿过所述内部部分设置并限定内表面，所述外部部分具有外表面，所述内表面具有置于其上的导电层或涂层，所述外表面具有置于其上的电阻层或涂层。