[发明专利]狭缝喷嘴有效
| 申请号： | 200610149985.X | 申请日： | 2006-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN1954924A | 公开（公告）日： | 2007-05-02 |
| 发明（设计）人： | 高濑真治;升芳明 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | B05B1/02 | 分类号： | B05B1/02;B05C5/02;C03C17/00;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 雒运朴;徐谦 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种排出口的宽度在长度方向均匀的狭缝喷嘴。该狭缝喷嘴可降低由螺栓直接传递来的应力所导致的对涂敷分布的影响。在沿长度方向延伸的沟槽(16、17)上形成穿插螺栓(31)的通孔(11、12)的端部开口，而不是使之与对面的半体(2)的相对面直接接触，由此，螺栓(31)的紧固力不会集中在通孔(11、12)的开口周缘，而是在喷嘴的长度方向均匀地分散。其结果，狭缝状排出口(14)的宽度也变得均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 狭缝 喷嘴 | ||
【主权项】：
1.一种狭缝喷嘴，以规定宽度在被处理物表面涂敷涂敷液，该狭缝喷嘴的特征在于，上述狭缝喷嘴在左右的半体上，在宽度方向形成有螺栓穿插用通孔，在上述左右的半体中的至少一个半体的对接面上，在长度方向连续地形成有其上形成上述螺栓穿插用通孔的开口的沟槽。
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