[发明专利]压电喷墨打印头及其制造方法

摘要

本发明公开了一种压电喷墨打印头及其制造方法。压电喷墨打印头构造成具有两个堆叠并连结的衬底。上衬底由单晶硅衬底或SOI衬底形成并包括穿过该上衬底的墨入口。下衬底由SOI衬底形成，SOI衬底具有第一硅层、中间氧化层和第二硅层顺序堆叠的结构。歧管、压力室和阻尼器通过湿法或干法蚀刻而形成在第二硅层中，喷嘴通过干法蚀刻而穿过中间氧化层和第一硅层形成。压电致动器形成在上衬底上，用于向各压力室施加驱动力，以喷射墨。该压电喷墨打印头构造成具有少量的衬底，从而减小了制造过程和成本，中间氧化层用作蚀刻停止层，以均匀地形成喷嘴，从而提高墨喷射性能。

主权项

1.一种压电喷墨打印头，包括：上衬底，包括穿过该上衬底形成的用于允许墨流入的墨入口；下衬底，包括与所述墨入口连接的歧管、沿着歧管的至少一侧设置并与歧管连接的多个压力室、与压力室连接的多个阻尼器、以及分别与所述多个阻尼器连接的多个喷嘴；和压电致动器，其形成在所述上衬底上，用于向各压力室施加驱动力，以喷射墨，其中，所述下衬底由绝缘体上硅衬底形成，并且所述上衬底堆叠并连结在所述下衬底上。