[发明专利]分割装置及晶片的对准方法

摘要

本发明的目的是，在对形成在保持于卡盘台上的晶片上的预定分离线实施加工而分割为器件时，能高效地使预定分离线与卡盘台的移动方向一致、提高生产率。不仅配设着用于识别检测预定分离线的对准机构(8)的位置信息的线性标尺(334)，而且在卡盘台(2)的移动方向，也配设了用于识别卡盘台(2)位置信息的线性标尺(224)。用两个线性标尺(334、224)的读取值，使预定分离线与卡盘台(2)的移动方向一致地修正晶片的朝向。

主权项

1.一种分割装置，至少备有卡盘台、X轴移送机构、加工机构、Y轴移送机构、对准机构、和控制机构；上述卡盘台保持着晶片，该晶片具有第一预定分离线和与该第一预定分离线正交的第二预定分离线；上述X轴移送机构，将该卡盘台在X轴方向加工移送；上述加工机构，对保持在该卡盘台上的晶片的第一预定分离线及第二预定分离线实施加工；上述Y轴移送机构配设着Y轴线性标尺、并将该加工机构沿Y轴方向分度移送，该Y轴线性标尺用于识别与该X轴方向正交的Y轴方向上的该加工机构的位置信息；上述对准机构，备有对保持在该卡盘台上的晶片进行摄像的摄像部，检测应加工的该第一预定分离线及该第二预定分离线；上述控制机构，用于控制该X轴移送机构和该Y轴移送机构；其特征在于，在上述X轴移送机构中，备有用于识别X轴方向上的该卡盘台的位置信息的X轴线性标尺；上述控制机构，根据来自该X轴线性标尺及该Y轴线性标尺的位置信息，识别由该对准机构检测出的检测位置的X坐标信息及Y坐标信息。