[发明专利]抗蚀剂组合物有效
| 申请号： | 200610151865.3 | 申请日： | 2006-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN1975572A | 公开（公告）日： | 2007-06-06 |
| 发明（设计）人： | 田中彻则;牧泽克宪 | 申请（专利权）人： | 大赛璐化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 张平元;赵仁临 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种不仅可以提高制备抗蚀剂时的溶解性、显影时的抗蚀膜粘合性等特性，而且可以提高抗蚀剂稳定性，安全性也优异的抗蚀剂组合物。该抗蚀剂组合物含有抗蚀剂成分和有机溶剂，作为该有机溶剂，含有环己醇乙酸酯。在该抗蚀剂组合物中，也可以组合二种以上有机溶剂。作为有机溶剂的优选组合，可以举出，环己醇乙酸酯和环己醇的组合。在上述抗蚀剂组合物中，还可以含有选自羧酸烷基酯类、脂肪族酮类、二醇醚类以及二醇醚乙酸酯中的至少一种溶剂作为有机溶剂。 | ||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂 组合 | ||
【主权项】：
1.一种抗蚀剂组合物，该抗蚀剂组合物含有抗蚀剂成分和有机溶剂，其中，作为该有机溶剂，含有环己醇乙酸酯。
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