[发明专利]激光加工方法以及激光加工装置有效
申请号: | 200610152380.6 | 申请日: | 2006-09-28 |
公开(公告)号: | CN1939644A | 公开(公告)日: | 2007-04-04 |
发明(设计)人: | 荒井邦夫 | 申请(专利权)人: | 日立比亚机械股份有限公司 |
主分类号: | B23K26/38 | 分类号: | B23K26/38;B23K26/04;B23K26/06;B23K26/08;B23K26/067;B23K26/00;H05K3/00 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人: | 雒运朴;徐谦 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种不会降低加工效率、且具有良好的加工精度和加工质量的激光加工方法和激光加工装置,利用作为脉冲状的第1激光束的分束光束(5)、和作为脉冲状的第2激光束的分束光束(6)来加工1个孔,该第2激光束的照射位置是以第1激光束(5)的照射位置为基准而定位的。此时,如果使分束光束(5)和分束光束(6)的旋转方向和角速度相同地加工圆形孔,则能够提高加工质量。分束光束(5)和分束光束(6)可以是用光束分束器(4)对从1个激光振荡器射出的激光束进行分束、并利用AOM(7A、7B)进行分时分束而形成的光束。 | ||
搜索关键词: | 激光 加工 方法 以及 装置 | ||
【主权项】:
1.一种激光加工方法,其特征在于,利用脉冲状的第1激光束和脉冲状的第2激光束,对直径比上述第1和第2激光束的直径都大的1个孔进行套孔加工,其中,上述第2激光束的照射位置是以上述第1激光束的照射位置为基准来定位的。
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