[发明专利]用于衬底、尤其是掩膜和掩膜基底的无酸清洗工艺无效
| 申请号： | 200610152856.6 | 申请日： | 2006-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN1958177A | 公开（公告）日： | 2007-05-09 |
| 发明（设计）人： | 哈拉尔德·科斯特;亨利森·O·奥莫雷吉 | 申请（专利权）人： | 史考特公司 |
| 主分类号： | B08B3/00 | 分类号： | B08B3/00;B08B3/12;B08B3/02;B08B3/08;F26B5/08;G03F1/00;G03F7/26 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王允方;刘国伟 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明是关于一种用于清洗衬底、尤其是掩膜和掩膜基底的新颖及有利方法。本发明方法的特征在于是连续工艺步骤，其包括UV处理、全射流清洗(fulljet cleaning)、兆声清洗及DI(去离子)水清洗。所述方法不包括酸清洗步骤且利用一特殊碱性清洁剂组合物。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 衬底 尤其是 基底 清洗 工艺 | ||
【主权项】：
1、一种用于清洗衬底的方法，其包括以下工艺步骤：a)UV-处理b)全射流清洗(fulljet cleaning)c)兆声清洗d)DI水冲洗且视情况干燥所述衬底。
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