[发明专利]半导体装置及其制造方法无效
申请号: | 200610153136.1 | 申请日: | 2006-12-05 |
公开(公告)号: | CN1983572A | 公开(公告)日: | 2007-06-20 |
发明(设计)人: | 齐藤博;铃木利尚;榊原慎吾 | 申请(专利权)人: | 雅马哈株式会社 |
主分类号: | H01L23/04 | 分类号: | H01L23/04;H01L21/50;H01L21/78 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 陶凤波 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种半导体装置,其具有表面具有中空的空洞部的基板、搭载在所述基板的空洞部中的半导体芯片、具有与所述基板相对且覆盖所述空洞部的大致板状的顶板部和从所述顶板部的周缘向所述基板突出并卡合在所述基板的侧面上的至少一对侧壁部的盖体,基板和盖体准确地定位。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种半导体装置,其特征在于,包括:表面具有中空的空洞部的基板;搭载在所述基板的空洞部上的半导体芯片;盖体,所述盖体具有与所述基板相对并覆盖所述空洞部的大致板状的顶板部和从所述顶板部的周缘向所述基板突出并卡合在所述基板的侧面上的至少一对的侧壁部。
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