[发明专利]衬底处理设备和衬底处理方法

摘要

在本发明的衬底处理设备中，当将衬底装入腔室中时，与衬底保持部一体形成的框架部插入该腔室与盖之间，从而密封该腔室的内部。当将衬底卸载至腔室上方时，腔室与盖形成直接接触，从而密封该腔室的内部。因此，当将衬底装入该腔室中时，与当将衬底卸载至该腔室的上方时，该腔室的内部能够得以令人满意地密封。

主权项

1.一种衬底处理设备，其对衬底进行预定处理，所述衬底处理设备包括：a)处理室，其内部具有用于对衬底进行预定处理的处理空间；b)运送部，其通过形成于所述处理室的上部的开口部而在所述处理室的内部与外部之间运送衬底，所述运送部包括：b-1)驱动部，其设置于所述处理室外部；b-2)保持部，其保持衬底并通过所述驱动部的驱动而在所述处理室的内部与外部之间运动；和b-3)框架部，其设置于所述驱动部与所述保持部之间，以及c)盖，其用于打开与关闭该开口部；其中，当将所述保持部移动至所述处理室的内部并且所述盖关闭时，所述框架部插入所述开口部的边缘部分与所述盖之间，从而密封所述处理室的内部，以及当将所述保持部移动至所述处理室的外部并且所述盖关闭时，所述盖与所述开口部的所述边缘部分接触，从而密封所述处理室的内部。