[发明专利]基板清洗装置有效
| 申请号： | 200610153626.1 | 申请日： | 2006-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN101146410A | 公开（公告）日： | 2008-03-19 |
| 发明（设计）人： | 蔡东璋 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | H05K3/26 | 分类号： | H05K3/26;H05K3/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陈小雯;李晓舒 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种基板清洗装置，其适于清洗一沿着一移动方向来移动的基板。此基板清洗装置包括一毛刷轮，其沿着一旋转轴线来旋转，用以刷洗上述基板的表面，其中上述旋转轴线与上述移动方向的夹角大于0度且小于90度。基板清洗装置可增加基板的清洗效能及降低基板发生滑片的机率。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 装置 | ||
【主权项】：
1.一种基板清洗装置，适于清洗一沿着一移动方向来移动的基板，该基板清洗装置包括：第一毛刷轮，沿着第一旋转轴线来旋转，用以刷洗该基板的第一表面，其中该第一旋转轴线与该移动方向的夹角大于0度且小于90度；以及第一角度调整器，连接于该第一毛刷轮，用以调整该第一旋转轴线与该移动方向的夹角。
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