[发明专利]用于代替互连层的焊盘下的通路有效

专利信息
申请号: 200610154052.X 申请日: 2006-09-20
公开(公告)号: CN1941341A 公开(公告)日: 2007-04-04
发明(设计)人: 万斯·D.·阿彻尔三世;麦克尔·C.·阿尤卡瓦;马克·A.·巴克曼;丹尼尔·P.·切希尔;康承赫;鞠泰镐;塞勒西·M·莫扎特;库尔特·G.·斯坦纳 申请(专利权)人: 艾格瑞系统有限公司
主分类号: H01L23/482 分类号: H01L23/482;H01L23/522;H01L27/04
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 潘士霖
地址: 美国宾*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 发明提供一种凸块结构。一方面,凸块应用于半导体器件,例如集成电路。半导体器件包括位于半导体衬底之上的有源器件、形成在有源器件之上包含铜的互连层、和位于互连层之上的最外面的金属化层。最外面的金属化层包含铝并包括至少一个焊盘和至少一个互连通道,分别电连接至互连层。凸块下金属化层(UBM)位于焊盘之上,凸块位于UBM之上。
搜索关键词: 用于 代替 互连 焊盘下 通路
【主权项】:
1、一种半导体器件,包括:包括至少一个焊盘和至少一个互连通道的铝层,其中互连通道电耦合至下方的铜互连层。
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