[发明专利]利用激光散斑的位置检测系统

摘要

本发明公开了一种检测系统。该检测系统包括衬底、激光器和传感器阵列。衬底包括第一表面、概念性地分为多个区域的第二表面、以及第三表面。激光器设置为将电磁辐射发射到衬底上，电磁辐射随后入射到第二表面的区域上。传感器阵列设置为捕捉从第二表面反射的电磁辐射。如果具有第一介电常数的第一电介质与某些区域接触，则入射到其上的电磁辐射发生全内反射，如果具有第二介电常数的第二电介质与其他区域接触，则入射到其上的一些电磁辐射由第二电介质反射回衬底中。传感器阵列发置为对入射到第二表面处的电磁辐射引起的激光散斑进行检测，并对从第二电介质反射的电磁辐射进行检测。

主权项

1.一种检测系统，包括：衬底，所述衬底包括第一表面、概念性分为多个区域的第二表面、以及具有第一部分和第二部分的第三表面；激光器，所述激光器设置为将电磁辐射经过所述第一表面发射到所述衬底中，所述电磁辐射随后入射到所述第二表面的某些区域上；以及传感器阵列，所述传感器阵列设置为对由所述第二表面反射的和入射到所述第二部分上的电磁辐射进行捕捉，其中，如果具有第一介电常数的第一电介质与某些区域接触，则入射到所述区域上的电磁辐射发生全内反射，并且如果具有第二介电常数的第二电介质与其他区域接触，则入射到所述其他区域上的某些电磁辐射由所述第二电介质反射回所述衬底中，其中，所述第一部分至少部分地设置为对入射到其上的电磁辐射进行反射，其中所述传感器阵列设置为对入射所述第二表面处的所述电磁辐射引起的激光散斑进行检测，并对由所述第二电介质反射的电磁辐射进行检测。