[发明专利]一种直排大气的罗茨干式真空泵转子及其加工工艺

摘要

本发明涉及罗茨泵设计，具体地说是一种直排大气的罗茨干式真空泵转子及其加工工艺。其加工工艺是用腰部圆弧替代渐开线设计转子块，单独加工转子块，再与中心轴进行组装；步骤：1)加工转子块：毛坯选用球墨铸铁棒材；加工方法：先加工棒材的外表面及两个端面，按转子块厚度切割，然后加工转子块的其余两个面(外圆面和内圆面)，再根据使用要求切割成所需厚度的转子块；2)将两块转子块和销轴通过销孔连成一体。本发明具有加工工艺简单、成本低，零件通用性强、适用于IC装备等特点。

主权项

1.一种直排大气的罗茨干式真空泵转子，其特征在于：多级转子组安装在中心轴上，两中心轴上的转子组相互啮合时两转子腰部圆弧啮合的最小距离δ在0.08mm～0.14mm之间；其转子组分为三部分：左转子块、销轴和右转子块，左、右转子块与销轴之间采用销孔定位、螺栓连接。