[发明专利]巨磁阻磁传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种巨磁阻磁传感器及其制备方法。传感器包括基片(1)和其上的绝缘层(2)、夹裹有导电层(5)的铁磁层(4)，特别是夹裹有导电层(5)的铁磁层(4)外套装有线圈(3)，线圈(3)和铁磁层(4)均由绝缘层(2)裹覆；方法为先后分别多次使用掩模、光刻或离子刻蚀、直流磁控溅射、射频磁控溅射或等离子增强化学气相淀积、半导体薄膜加工工艺于基片上进行刻制、溅射和生成出线圈下层导线、下绝缘层、由铁磁层、导电层和铁磁层构成的磁电阻传感器、中绝缘层、线圈竖直导线、线圈上层导线和上绝缘层，并将线圈下层导线、线圈竖直导线和线圈上层导线电连接，从而制得巨磁阻磁传感器。它具有高的精度和灵敏度，易于工业化生产。

主权项

1.一种巨磁阻磁传感器，包括基片(1)和其上的绝缘层(2)、夹裹有导电层(5)的铁磁层(4)，其特征在于所说夹裹有导电层(5)的铁磁层(4)外套装有线圈(3)，所说线圈(3)和铁磁层(4)均由绝缘层(2)裹覆。