[发明专利]太阳能电池及其制造方法有效
申请号: | 200610156357.4 | 申请日: | 2006-12-29 |
公开(公告)号: | CN1992355A | 公开(公告)日: | 2007-07-04 |
发明(设计)人: | 朴相昱;金大园;赵银喆 | 申请(专利权)人: | 三星SDI株式会社 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/042 |
代理公司: | 北京德琦知识产权代理有限公司 | 代理人: | 陆弋;王诚华 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明提供一种太阳能电池的制造方法,该方法包括:在半导体衬底的第一表面上形成发射体层;在所述发射体层上形成绝缘层;在所述绝缘层上以特定图样形成化学化合物,该化学化合物包含与所述发射体层具有相同传导类型的掺杂剂;通过去除其上形成有化学化合物的绝缘层并扩散所述掺杂剂,形成高浓度发射体部分;去除所述化学化合物;以及形成被电连接到所述高浓度发射体部分的第一电极。 | ||
搜索关键词: | 太阳能电池 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1、一种太阳能电池的制造方法,包括:在半导体衬底的第一表面上形成发射体层;在所述发射体层上形成绝缘层;在所述绝缘层上以特定图样形成化学化合物,该化学化合物包含与所述发射体层具有相同传导类型的掺杂剂;通过去除对应于所述化学化合物的所述绝缘层并将所述掺杂剂朝向所述发射体层扩散,形成高浓度发射体部分;去除所述化学化合物;以及形成被电连接到所述高浓度发射体部分的第一电极。
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H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
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