[发明专利]微位移的测量方法有效
| 申请号： | 200610157990.5 | 申请日： | 2006-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN101210801A | 公开（公告）日： | 2008-07-02 |
| 发明（设计）人： | 许振丰;金国藩 | 申请（专利权）人： | 清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/14 | 分类号： | G01B11/14;G01B11/02;G01B9/02;G01D5/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084北京市海淀区清华*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微位移的测量方法，包括：提供一微位移传感器，包括具有若干第一晶柱的第一光子晶体模块、具有若干第二晶柱的第二光子晶体模块、激光源和探测器，第一晶柱内设有形成入光口和出光口的第一导光通道，第二晶柱内设有形成探测口的第二导光通道，激光源设置在入光口，探测器设置在探测口；将第二光子晶体模块固定在待测器件上，第一导光通道与第二导光通道相耦合；以及，当待测器件带动第二光子晶体模块移动时，激光源发出的光经由入光口进入第一导光通道，一部光经由出光口出射，另一部分光耦合进入第二光子晶体模块的第二导光通道并经由探测口被探测器探测，通过读取探测器获得的光强与位移的正弦曲线，即可得到待测器件的水平位移。 | ||
| 搜索关键词： | 位移 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种微位移的测量方法，包括：提供一个微位移传感器，包括第一光子晶体模块、第二光子晶体模块、激光源和探测器，其中，第一光子晶体模块包括若干呈矩阵方式排列的第一晶柱，第一晶柱矩阵内设有形成入光口和出光口的第一导光通道，第二光子晶体模块包括若干呈矩阵方式排列的第二晶柱，第一晶柱和第二晶柱具有相同的晶格常数a，第二晶柱矩阵内设有形成探测口的第二导光通道，激光源设置在第一导光通道的入光口，探测器设置在第二导光通道的探测口；将第二光子晶体模块固定安装在待测器件上，将第一光子晶体模块相对于待测器件固定且与第二光子晶体模块相平行，第二晶柱与第一晶柱对齐，同时，第一导光通道与第二导光通道相耦合；以及当待测器件带动第二光子晶体模块移动时，激光源发出的光经由入光口进入第一导光通道，一部光经由出光口出射，另一部分光耦合入第二光子晶体模块的第二导光通道并经由探测口被探测器探测，随着待测器件的移动，耦合入第二导光通道的耦合光的光强发生改变，通过读取探测器获得的光强与位移的正弦曲线，即可得到待测器件的水平位移。
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