[发明专利]用于柔性显示装置的显示面板的制造方法无效
申请号: | 200610159518.5 | 申请日: | 2006-09-25 |
公开(公告)号: | CN1936664A | 公开(公告)日: | 2007-03-28 |
发明(设计)人: | 金成镇 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | G02F1/1333 | 分类号: | G02F1/1333 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 魏晓刚;李晓舒 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 一种液晶显示器面板的制造方法,包括通过在约80℃到约150℃之间的温度下溅镀在柔性塑料基板上形成至少一薄膜。该溅镀是在抽真空到约1×10-6托至约9×10-6真空的溅镀室内。溅镀靶和溅镀在基板上的薄膜包括的材料有导电的或绝缘的、有机的或无机的、金属或金属合金、反射式金属或透明导电的,或者其结合。薄膜和图案的形成使用层叠的或液体膜的光刻。薄膜可以溅镀在基板的相对侧并可以是多层的。 | ||
搜索关键词: | 用于 柔性 显示装置 显示 面板 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种用于液晶显示器的显示面板的制造方法,包括:在溅镀室内安放柔性基板;及通过溅镀靶来在该柔性基板上沉积薄膜,其中该溅镀是在约80℃到约150℃之间的温度下进行的。
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