[发明专利]玻璃基板处理装置、玻璃基板处理系统和处理方法无效
| 申请号： | 200610159930.7 | 申请日： | 2006-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN1939853A | 公开（公告）日： | 2007-04-04 |
| 发明（设计）人： | 神田敏朗;长野由龟雄;芦田兼治 | 申请（专利权）人： | 爱斯佩克株式会社 |
| 主分类号： | C03B29/00 | 分类号： | C03B29/00;C03B5/235 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种通过缩短玻璃基板的热处理时间来降低玻璃基板的收纳枚数从而能够实现外形的小型化的玻璃基板处理装置。玻璃基板处理装置(1)具有加热室(2)，加热室(2)被由众所周知的隔热材料制成的隔热壁(3)覆盖住6面。在加热室(2)上安装有排气导管(21)。排气导管(21)安装在加热室(2)的顶面。在加热室(2)的内部设置有基板载置部件(30)和多个卤素加热器(31)。玻璃基板(32)的加热主要由卤素加热器(31)进行。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 处理 装置 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种玻璃基板处理装置，其用于对玻璃基板进行热处理，其特征在于，包括：被隔热壁所覆盖的加热室、对加热室进行换气的换气装置、设置在加热室内的基板载置部件、和卤素加热器，该基板载置部件能够载置玻璃基板，能够利用所述卤素加热器对玻璃基板进行加热。
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