[发明专利]辐射敏感性树脂组合物

摘要

一种辐射敏感树脂组合物，其包含碱可溶性固化性树脂(A)、醌二叠氮化合物(B)、含有鎓阳离子和选自式(1)给出的阴离子和式(2)给出的阴离子的阴离子的阳离子聚合引发剂(C)，和溶剂(H)，其中R¹－R³、R¹¹和R³³各自独立地代表具有1－20个碳原子的直链全氟烷基、具有3－20个碳原子的支链全氟烷基、具有3－20个碳原子的环状全氟烷基、或具有6－20个碳原子的全氟芳基，基团－O－、－N(R)－、或－SO₂－中的任一个可插入上述每个基团的碳原子之间(R代表氢原子或具有1－4个碳原子的烷基)，R¹¹和R³³或R¹－R³中的任意两个可结合形成环结构并且一个或两个环结构可形成杂环。

主权项

1.一种辐射敏感树脂组合物，其包含碱可溶性固化性树脂(A)、醌二叠氮化合物(B)、含有阳离子和选自式(1)给出的阴离子和式(2)给出的阴离子的阴离子的阳离子聚合引发剂(C)，和溶剂(H)，其中R¹-R³、R¹¹和R³³各自独立地代表具有1-20个碳原子的直链全氟烷基、具有3-20个碳原子的支链全氟烷基、具有3-20个碳原子的环状全氟烷基、或具有6-20个碳原子的全氟芳基，基团-O-、-N(R)-、或-SO₂-中的任一个可插入上述每个基团的碳原子之间，其中R代表氢原子或具有1-4个碳原子的烷基，R¹¹和R³³或R¹-R³中的任意两个可结合形成环结构并且一个或两个环结构可形成杂环。