[发明专利]限定图案的方法有效
| 申请号： | 200610160485.6 | 申请日： | 2005-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN1963678A | 公开（公告）日： | 2007-05-16 |
| 发明（设计）人： | M·I·埃格贝;M·勒根扎;T·维伊德;J·M·里克 | 申请（专利权）人： | 气体产品与化学公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;H01L21/02;G03F7/038;G03F7/039 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 段晓玲;赵苏林 |
| 地址： | 美国宾夕*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及限定图案的方法，其中包括将光致抗蚀剂涂覆到基底上，将图案平板印刷到光致抗蚀剂上；将图案转印到基底上；通过使基底与特定组合物接触以从基底上去除光致抗蚀剂或蚀刻残余物或以上两者。 | ||
| 搜索关键词： | 限定 图案 方法 | ||
【主权项】：
1、一种限定图案的方法，其中包括将光致抗蚀剂涂覆到基底上，将图案平板印刷到光致抗蚀剂上；将图案转印到基底上；通过使基底与组合物接触以从基底上去除光致抗蚀剂或蚀刻残余物或以上两者，所述组合物包括：50wt％或更多的含有二醇醚的至少一种水溶性有机溶剂；小于50wt％的水；最多为20wt％的含氟化合物，条件是如果含氟化合物为氟化铵则没有其它的含氟化合物添加到该组合物中；以及最多为20wt％的腐蚀抑制剂，其选自如下成分组成的组：二乙基羟胺，二乙基羟胺乳酸盐和二乙基羟胺柠檬酸盐；和任选的季铵化合物。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于气体产品与化学公司，未经气体产品与化学公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200610160485.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
