[发明专利]利用同步的多轴对基板划线的装置及方法有效
申请号: | 200610160700.2 | 申请日: | 2006-12-06 |
公开(公告)号: | CN1958490A | 公开(公告)日: | 2007-05-09 |
发明(设计)人: | 金埈煐 | 申请(专利权)人: | 塔工程有限公司 |
主分类号: | C03B33/02 | 分类号: | C03B33/02;C03B33/033 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 章社杲 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明提供一种利用同步的多轴对基板划线的装置和方法,以在基板上同步形成X轴线和Y轴线。该装置包括:基板传送装置,沿单向移动,装载有基板;第一导向件,设置在与基板传送装置的行进方向相垂直的方向上;多个第一划线装置,定位成通过第一导向件以预定间隔彼此间隔开;第二划线装置,沿与由第一划线装置所形成的多条划线相垂直的方向形成划线;第二导向件,沿与基板传送装置的行进方向相垂直的方向传送第二划线装置;以及控制部,控制基板传送装置的传送速度以及第二划线装置的传送速度,从而由第二划线装置形成的第二划线垂直于第一划线。使用该装置及方法时,由于X-轴和Y-轴划线几乎同步形成在基板上,缩短了加工时间,并提高了生产率。 | ||
搜索关键词: | 利用 同步 划线 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种用于利用同步的多轴对基板划线的装置,包括:基板传送装置,其沿单向移动,装载有基板;第一导向件,设置在与所述基板传送装置的行进方向相垂直的方向上;多个第一划线装置,定位成通过所述第一导向件在预定间下彼此间隔开;以及控制部,用于控制所述基板传送装置的传送速度。
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