[发明专利]氧化物烧结体及使用其得到的氧化物膜、包含其的透明基材有效

专利信息
申请号: 200610161127.7 申请日: 2006-11-30
公开(公告)号: CN101016208A 公开(公告)日: 2007-08-15
发明(设计)人: 中山德行;阿部能之 申请(专利权)人: 住友金属矿山株式会社
主分类号: C04B35/01 分类号: C04B35/01;C04B41/81;C03C17/23
代理公司: 北京林达刘知识产权代理事务所 代理人: 刘新宇
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明的氧化物烧结体主要由镓、铟和氧形成,相对全部金属元素含有超过65原子%不足100原子%的所述镓,其密度为5.0g/cm3以上。本发明的氧化物膜是使用所述氧化物烧结体作为溅射靶得到的,除去基板的膜自身显示光透射率50%的光的最短波长为320nm以下。本发明的透明基材通过在选自玻璃板、石英板、单面或两面覆盖有阻气膜的树脂板或树脂薄膜、或者内部插入有阻气膜的树脂板或树脂薄膜中的透明基板的单面或两面上形成所述氧化物膜制得。
搜索关键词: 氧化物 烧结 使用 得到 包含 透明 基材
【主权项】:
1.一种氧化物烧结体,其特征在于,该氧化物烧结体主要由镓、铟和氧形成,相对全部金属元素含有超过65原子%不足100原子%的所述镓,并且烧结体密度为5.0g/cm3以上。
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