[发明专利]过滤制程数据的方法及其系统

摘要

本发明揭露一种过滤制程数据的方法及其系统，用以过滤送到一统计控制模型的制程数据，以提升该控制模型的性能。该数据过滤器从一组制程数据中选取一组样版数据、形成包括该组样版数据以及一组采样数据的一组网格、并计算出该组网格中的一网格的每一点间的一绝对距离以及使用该绝对距离计算出该网格的一点的一最小累加距离。依据该点的该最小累加距离，定义出一整体最佳路径、以及依据该整体最佳路径以及一组参考数据，重新对应该组采样数据以形成一组改变后数据。本发明可将制程数据变成与测量点的一组一致，进而提升制程效能。软件触发器失效问题也可通过消除其他晶圆包含的数据，从异常的晶圆制程中排除。

主权项

1.一种过滤制程数据的方法，其特征在于，该过滤制程数据的方法，用以监控在一具有多个制程的一设备的制程效能，用以处理半导体晶圆的批次，该方法包括下列步骤：由所述制程中接收一组制程数据；过滤该组制程数据，以形成一组过滤数据；以及提供该组过滤数据至一统计控制模型；其中该统计控制模型使用该组过滤数据以提供一制程效能分析。