[发明专利]液晶显示装置基板的制造方法

摘要

本发明公开了一种液晶显示装置基板的制造方法，尤其是涉及一种适用于具有滤色片的液晶显示装置薄膜晶体管阵列基板的制造方法。本发明的方法主要是利用光敏绝缘层作为薄膜晶体管的保护层或平坦层，来达到减少掩模数或光刻工序的效果。该光敏绝缘层具有与光刻胶相同的显影的能力，并且可保护薄膜晶体管不受空气中水气和氧气的影响。此外，本发明还可以通过喷墨形成滤色片或半色调掩模的技术来进一步减少掩模数或工序。

主权项

1.一种液晶显示装置基板的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：(A)提供一基板；(B)在该基板上形成多个具有一栅极、一源极、以及一漏极的晶体管，其中该栅极位于该基板的表面，该栅极与该源极及该漏极间插入有至少一半导体层以及一栅极绝缘层，该漏极及该源极间不电性连接；(C)在该基板上依次形成一第一光敏绝缘层以及一遮光层，且该第一光敏绝缘层以及该遮光层为同型光刻胶；(D)图案化该第一光敏绝缘层以及该遮光层，其中该第一光敏绝缘层与该遮光层具有相同图案并且覆盖该晶体管；(E)在该基板上依次形成一第二光敏绝缘层以及一具有颜色的滤色片层，且该第二光敏绝缘层以及该滤色片层为同型光刻胶；(F)图案化该第二光敏绝缘层以及该滤色片层，同时形成一第一接触孔在该漏极上，其中该第一接触孔穿过该第二光敏绝缘层与该滤色片层，以暴露部分该漏极；(G)选择性重复步骤(E)和(F)；以及(H)在该基板上形成一图案化透明电极层，并且该图案化透明电极层与该漏极电性连接。