[发明专利]微机电系统开关无效
| 申请号： | 200610163108.8 | 申请日： | 2006-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN1983491A | 公开（公告）日： | 2007-06-20 |
| 发明（设计）人： | 金载兴;崔蓥;宋寅相;李相勋;权相旭 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00;H01P1/10 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 张波 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种MEMS(微机电系统)开关，其包括：基板；形成在基板上侧的固定电极；形成在固定电极两侧的信号线；与所述固定电极间隔一定距离地形成在信号线上侧并接触信号线边缘部分的接触部件；支承接触部件可移动的支承部件；以及设置在支承部件上侧的移动电极。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 开关 | ||
【主权项】：
1.一种微机电系统(MEMS)开关，包括：基板；形成在所述基板上侧的固定电极；形成在所述固定电极两侧的多个信号线；与所述固定电极间隔一定距离地形成在所述信号线上侧并接触所述信号线边缘部分的接触部件；支承部件，支承所述接触部件可移动；以及设置在所述支承部件上侧的移动电极。
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