[发明专利]老化试验装置及老化试验板无效
| 申请号： | 200610163541.1 | 申请日： | 2006-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN1979193A | 公开（公告）日： | 2007-06-13 |
| 发明（设计）人： | 进藤笃;牧田大辅;北一三 | 申请（专利权）人： | 日商日本工程技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01R1/02;H01L21/66 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李香兰 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种老化试验装置，其中具备：测试信号生成电路，其在老化试验中与第一基准信号同步，生成测试信号并供给到多个被试验器件；判定电路，其与第二基准信号同步地判定根据所述测试信号从所述多个被试验器件输出的输出数据与其期望值数据是否一致，并将该比较结果作为判定结果依次输出；判定结果存储器，其中分配有按每个被试验器件存储判定结果的区域；和判定结果存储电路，其与所述第二基准信号同步，将从所述判定电路依次输出的所述判定结果存储到在所述判定结果存储器中按每个被试验器件分配的区域。 | ||
| 搜索关键词： | 老化 试验装置 老化试验 | ||
【主权项】：
1.一种老化试验装置，其中具备：测试信号生成电路，其在老化试验中，与第一基准信号同步，生成测试信号并供给到多个被试验器件；判定电路，其与第二基准信号同步地判定根据所述测试信号从所述多个被试验器件输出的输出数据、与其期望值数据是否一致，并将该比较结果作为判定结果依次输出；判定结果存储器，其中分配有按每个被试验器件存储判定结果的区域；和判定结果存储电路，其与所述第二基准信号同步，将从所述判定电路依次输出的所述判定结果存储到在所述判定结果存储器中按每个被试验器件分配的区域。
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