[发明专利]基板处理方法以及基板处理装置

摘要

本发明提供一种基板处理方法及基板处理装置，能够减轻进行清洗时给基板表面所带来的损伤，同时能够确保充分的清洗功能。该装置具有：长状的清洗刷(221)，其具有由多根刷毛构成的毛束；搬送辊，其在与清洗刷(221)延伸的方向交叉的方向上，相对清洗刷(221)搬送基板(B)；支撑机构，其使清洗刷(221)的清洗刷毛束(50)的前端(50H)朝向搬送辊的基板(B)搬送方向下游侧，且使清洗刷(221)的清洗刷毛束(50)的侧面部(50F)接触于该基板的上表面的状态，从而支撑清洗刷(221)；处理液供给喷嘴(231)，其对于由支撑机构所支撑的清洗刷(221)的清洗刷毛束(50)供给处理液。

主权项

1.一种基板处理装置，对沿着搬送路径进行搬送过程中的基板实施规定的处理，其特征在于，具有：在上述基板的宽度方向上呈长状的清洗刷，其具有由很多刷毛构成的毛束；支撑装置，其使上述清洗刷与上述搬送路径相对向而支撑上述清洗刷，使得上述清洗刷的毛束的前端部朝向上述搬送路径的下游侧，且使上述清洗刷的毛束的侧面部接触于上述搬送过程中的基板的主面；液体供给装置，其对由上述支撑装置所支撑的上述清洗刷的毛束供给处理用的液体。