[发明专利]滤色器掩模布局

摘要

本发明的实施例涉及一种滤色器掩模布局，其能够通过在制造滤色器的过程中防止发生角部圆化而降低SNR。在所述实施例中，该滤色器掩模布局可以包括：蓝色滤色器掩模图案，其设置于中心部；红色滤色器掩模图案，其沿该蓝色滤色器掩模图案的对角线方向设置以便与该蓝色滤色器掩模图案隔开；绿色滤色器掩模图案，其沿该蓝色滤色器掩模图案的对角线方向设置以便与该蓝色滤色器掩模图案隔开，以及校正掩模图案，其安装于该绿色滤色器掩模图案的角部处，用以进行光学邻近校正。

主权项

1.一种掩模布局，包括：蓝色滤色器掩模图案；红色滤色器掩模图案；绿色滤色器掩模图案；以及校正掩模图案，其构造成用于提供光学邻近校正，并且形成于绿色、蓝色及红色滤色器掩模图案中的至少一个图案的至少一个角部上。