[发明专利]工厂自动化系统及相关方法有效
| 申请号： | 200610164733.4 | 申请日： | 2006-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN101109932A | 公开（公告）日： | 2008-01-23 |
| 发明（设计）人： | 游志源;游仁祈;汪明 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/04 | 分类号： | G05B19/04;H01L21/677;B65G49/07;B65G43/00 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陈晨 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明揭示一种工厂自动化系统及相关方法。实施例为工厂自动化系统，适用于晶片制造厂，该晶片制造厂包括多个隔间，其中每一隔间包括由隔间内高架式晶片运输(OHT)系统互连的多个制造设备，以及第一隔间之间OHT系统和第二隔间之间OHT系统用以互连该隔间内高架式晶片运输系统。该工厂自动化系统包括：制造执行系统，用以提供关于该晶片制造厂内正被处理中的晶片批次信息；物料控制系统，用以提供关于该晶片制造厂内的晶片运输的流量信息；以及整合运输控制系统，用以根据传送请求，利用该制造执行系统产生的批次信息以及该物料控制系统产生的流量信息，选取包含多个晶片的晶片盒的目的地以及到该选取目的地的路径。 | ||
| 搜索关键词： | 工厂 自动化 系统 相关 方法 | ||
【主权项】：
1.一种工厂自动化系统，适用于一晶片制造厂，该晶片制造厂包括多个隔间，其中每一所述隔间包括由一隔间内高架式晶片运输系统互连的多个制造设备，以及一第一隔间之间高架式晶片运输系统和一第二隔间之间高架式晶片运输系统用以互连该隔间内高架式晶片运输系统，该工厂自动化系统包括：一第一信息提供装置，用以提供关于该晶片制造厂内正被处理中的批次信息；一第二信息提供装置，用以提供关于该晶片制造厂内的晶片运输的流量信息；以及一选取装置，用以响应一传送请求，利用该批次信息以及该流量信息，选取包含多个晶片的一晶片盒的一目的地以及到该选取目的地的一路径。
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