[发明专利]凹腔型线圈天线的感应耦合等离子体发生设备无效
| 申请号： | 200610164811.0 | 申请日： | 2006-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN101043786A | 公开（公告）日： | 2007-09-26 |
| 发明（设计）人： | 欧阳亮;刘万东;白小燕;陈志鹏;王慧慧;李弘;罗辰;吉亮亮;胡北 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H05H1/30 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 | 代理人： | 贾玉忠;李新华 |
| 地址： | 230026*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 凹腔型线圈天线的感应耦合等离子体发生设备，包括：提供放电气体和等离子体与加工器件反应场所的反应室、放置在反应室内的至少一个凹腔型线圈天线、连在凹腔型线圈天线两端的射频RF电源；所述的凹腔型线圈天线为至少一个棒状凹腔型线圈天线或环状凹腔型线圈天线构成，每个凹腔型线圈天线由不同RF电源分别供电，或由同一个RF电源一起供电。本发明能够在较高气压下产生高密度，大面积均匀等离子体。 | ||
| 搜索关键词： | 凹腔型 线圈 天线 感应 耦合 等离子体 发生 设备 | ||
【主权项】：
1、凹腔型线圈天线的感应耦合等离子体发生设备，其特征在于包括：提供放电气体和等离子体与加工器件反应场所的反应室、放置在反应室内的至少一个凹腔型线圈天线、连在凹腔型线圈天线两端的射频RF电源。
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