[发明专利]反应腔室无效
| 申请号： | 200610164903.9 | 申请日： | 2006-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN101196750A | 公开（公告）日： | 2008-06-11 |
| 发明（设计）人： | 杨盟 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | G05D23/20 | 分类号： | G05D23/20;G05D23/185;H01L21/00;H01L21/3065;H01L21/205;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵镇勇;郭宗胜 |
| 地址： | 100016北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种反应腔室，包括恒温装置，所述的恒温装置包括温控装置、加热装置和冷却装置；所述温控装置包括温控器和温度传感器，温控器接收温度传感器传来的温度信号，并根据设定的温度控制加热装置及冷却装置的运行，使反应腔室的温度保持在设定的温度。能够精确控制腔室内部的温度，有利于工艺反应的稳定，并减少高温对器件寿命和安全的影响。主要适用于半导体加工设备的反应腔室，也适用于其它类似的腔室。 | ||
| 搜索关键词： | 反应 | ||
【主权项】：
1.一种反应腔室，包括腔室主体，其特征在于，还包括恒温装置，所述的恒温装置包括温控装置、加热装置和冷却装置；所述温控装置包括温控器和温度传感器，所述温度传感器设于反应腔室主体内，用于检测反应腔室内的温度；所述加热装置和冷却装置设于腔室主体上，并与温控器电连接；所述温控器接收温度传感器传来的温度信号，并根据设定的温度控制加热装置及冷却装置的运行，使反应腔室的温度保持在设定的温度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，未经北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200610164903.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：金属丝材拉伸力学性能测试装置
- 下一篇：卫生产品
