[发明专利]高反镜反射率测量方法

摘要

本发明公开了一种高反镜反射率的测量方法，属于对光学元件参数进行测量的技术领域。包括以下步骤：1)由两块相同的凹面镀高反膜的高反镜凹面相对构成直腔，将连续激光入射到构成的稳定谐振腔或共焦腔，当光腔输出信号幅值高于设定的阈值时，关闭激光束，由指数衰减信号拟合得到直腔衰荡时间τ₁，计算得到腔镜反射率R；2)保持腔长不变，在两块相同的平凹高反射腔镜之间加入高反射测试镜构成折叠腔，当折叠腔输出信号幅值大于阈值时关闭激光束，由指数衰减信号拟合得到折叠腔衰荡时间τ₂，计算测试镜反射率Rx。本发明具有精度高、装置简单、成本低等优点。

主权项

1、高反镜反射率测量方法，包括以下步骤：(1)两块相同的平凹高反射腔镜，凹面镀高反膜且凹面相对构成直腔，将连续激光入射到这样构成的稳定谐振腔或共焦腔，当光腔输出信号幅值高于设定的阈值Vth1时，触发关闭激光束，此后光腔输出信号呈指数衰减，由指数衰减信号拟合得到直腔衰荡时间τ1，再计算得到腔镜反射率R，或者直接拟合得到腔镜反射率R；(2)保持腔长不变，在两块相同的平凹高反射腔镜之间加入高反射测试镜构成折叠腔，当折叠腔输出信号幅值大于阈值Vth2时触发关闭激光束，由指数衰减信号拟合得到折叠腔衰荡时间τ2，再计算测试镜反射率Rx，或者直接拟合得到测试镜反射率Rx。