[发明专利]具有辅助敏感单元的谐振式硅微机械传感器无效
| 申请号： | 200610165574.X | 申请日： | 2006-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN1987364A | 公开（公告）日： | 2007-06-27 |
| 发明（设计）人： | 樊尚春;邢维巍;蔡晨光;庄海涵 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | G01D5/00 | 分类号： | G01D5/00;G01D5/12;G01D5/16;G01H11/06;G01H11/08;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 | 代理人： | 贾玉忠;卢纪 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 具有辅助敏感单元的谐振式硅微机械传感器，由一次敏感结构、谐振梁、作为辅助敏感单元的压阻网络和信号处理单元组成，被测量通过一次敏感结构映射为谐振梁的谐振频率，信号处理单元检测谐振梁输出的拾取信号并向谐振梁输出激励信号构成闭环系统以维持其谐振状态，由拾取信号计算谐振频率，根据一次敏感结构和谐振梁模型由谐振频率求解被测量；同时被测量通过一次敏感结构映射为压阻网络各电阻阻值，信号处理单元检测各电阻阻值并据此求解谐振梁谐振频率估计值；谐振频率估计值用于辅助拾取信号的检测、谐振频率的计算和激励信号的产生，从而有效解决微弱信号检测问题，并改善传感器系统的动态响应和可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 辅助 敏感 单元 谐振 微机 传感器 | ||
【主权项】：
1、具有辅助敏感单元的谐振式硅微机械传感器，其特征在于：由一次敏感结构(1)、谐振梁(4)、作为辅助敏感单元的压阻网络(5)和信号处理单元(3)组成，被测量q通过一次敏感结构(1)映射为谐振梁(4)的谐振频率fr，信号处理单元(3)检测谐振梁(4)输出的拾取信号vs并向谐振梁(4)输出激励信号vx构成闭环自激振荡系统以维持其谐振状态，并由vs计算谐振频率fr，根据一次敏感结构1和谐振梁4模型由fr求解q；被测量q通过一次敏感结构1同时映射为压阻网络(5)各电阻阻值R，信号处理单元(3)检测各电阻阻值R的变化并据此求解谐振梁(4)谐振频率估计值fr *；谐振频率估计值fr *用于辅助拾取信号Vs的检测、谐振频率fr的计算和激励信号vx的产生，从而有效解决微弱信号检测问题，并改善传感器系统的动态响应和可靠性。
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