[发明专利]射频板条CO2激光器匹配系统可变电容器的自动调节装置及方法

摘要

本发明涉及一种射频板条CO₂激光器匹配系统可变电容器的自动调节装置及方法，所述装置它包括可变电容C₁与C₂、电感L、同轴电缆(8)、射频板条CO₂激光器(7)、射频源(1)、微波检波器(2)、小信号放大电路(3)、PLC(4)和步进电机(5)。所述方法的具体调节步骤如下：一、射频源输入占空比≤20％的射频脉冲，激光器起辉，同时步进电机以50～70°/s速度正、反转调节可变电容器C₂；二、射频源输入40～60％占空比满功率射频脉冲，同时步进电机以3～10°/s速度反、正转调节可变电容器C₂。本发明使射频板条CO₂激光器顺利起辉、稳定放电。

主权项

1、一种射频板条CO2激光器匹配系统可变电容器的自动调节装置，其特征在于：它包括可变电容C1与C2、电感L、同轴电缆(8)、射频板条CO2激光器(7)、射频源(1)、微波检波器(2)、小信号放大电路(3)、PLC(4)和步进电机(5)，将可变电容C1和C2的正极用电感L相连，将可变电容C1 的正极与50Ω的同轴电缆(8)相连，将可变电容C2的正极与射频板条CO2 激光器(7)的电极相连，将可变电容C1和C2的负极接地，构成了π型网络阻抗匹配器(6)，将同轴电缆(8)与射频源(1)的输出端相连，将射频源(1)的反向定向耦合器的反射功率监测端与微波检波器(2)的输入端相连，微波检波器(2)的输出端与小信号放大电路(3)的输入端相连，小信号放大电路(3)的输出端与PLC(4)的模拟量输入端相连，其中PLC(4)采用晶体管输出型的PLC来实现脉冲输出功能，PLC(4)的脉冲输出端与步进电机(5)的控制器相连，步进电机(5)的输出轴端连接可变电容C2。