[发明专利]三维形状测量装置及方法

摘要

本发明提供三维形状测量装置及方法，其装置包括：XY台、投影部、光路变换器和成像部，所述投影部包括：第一、第二照明；多个投影透镜；光栅板，设置在第一、第二照明和多个投影透镜之间，形成有多个光栅；投影部移送装置，用来将光栅板朝向与第一、第二照明照射光垂直的方向移动，所述光路变换器包括：多个反射镜；第一、第二滤光器，分别设置在多个反射镜的下侧，对经过多个反射镜的光的特性进行调节并透射其光；第三照明，设置在第一、第二滤光器之间，将光照射至检查对象物，所述成像部包括：第三滤光器；成像透镜；成像摄影机。通过使用多个照明和滤光器交替地扫描测量对象物的一侧和另一侧，能够去除在测量三维形状时产生的影子区域。

主权项

1.一种三维形状测量装置，其特征在于，包括：XY台，其中安装有衬底部件，所述衬底部件形成有多个识别标志；投影部，包括：发光的第一、第二照明；多个投影透镜，设置在所述第一、第二照明一侧；光栅板，设置在所述第一、第二照明和所述多个投影透镜之间，形成有多个光栅；投影部移送装置，用来将所述光栅板朝向与从所述第一、第二照明产生的光的照射方向垂直的方向移动；光路变换器，包括：多个反射镜，设置在所述投影部的一侧，相互隔开一定的间隔；第一、第二滤光器，分别设置在所述多个反射镜的下侧，对经过多个反射镜的光的特性进行调节而进行光的透射；第三照明，设置在所述第一、第二滤光器之间，将光照射给检查对象物中；成像部，包括：第三滤光器；成像透镜，设置在所述第三滤光器的上侧，用来对经过所述第三滤光器的光进行成像；成像摄影机，设置在成像透镜的上侧，用来对透过所述成像透镜的图像进行摄影。