[发明专利]探针的研磨方法和研磨部件有效
| 申请号： | 200610168739.9 | 申请日： | 2006-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN1986152A | 公开（公告）日： | 2007-06-27 |
| 发明（设计）人： | 小林将人 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | B24B19/16 | 分类号： | B24B19/16;B24B17/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种探针的研磨方法和研磨部件，使得即使随着探针板的大型化，探针增加，探针的排列区域超出研磨部件范围，使用该研磨部件，也能确实地研磨探针，并能提高检测的处理能力。本发明的探针的研磨方法，使用研磨片(10)研磨实施晶片电性能检测的排列在探针板(20)上的多枚探针(21)，利用载置台(30)使外周缘部具有倾斜面(10A)的研磨片(10)移动，分多次研磨探针区域(21)。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 研磨 方法 部件 | ||
【主权项】：
1.一种探针的研磨方法，使用研磨部件研磨实施被检测体电性能检测的排列在探针板上的多枚探针，其特征在于：使所述研磨部件与所述探针板的位置发生相对变化，分多次对所述多枚探针进行研磨。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东京毅力科创株式会社，未经东京毅力科创株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200610168739.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：尤其用于驻车制动器的调整装置
- 下一篇：一种变换域通信系统收发机及其实现方法
