[发明专利]用来抛光半导体层的组合物无效
| 申请号： | 200610169030.0 | 申请日： | 2006-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN1982393A | 公开（公告）日： | 2007-06-20 |
| 发明（设计）人： | 卞锦儒 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;C09G1/16;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 沙永生 |
| 地址： | 美国特*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 可用来抛光半导体基材的水性抛光组合物。所述抛光组合物包含0.05－50重量％的磨料；以及0.001－2重量％的λ－角叉菜聚糖，所述λ－角叉菜聚糖的浓度能够加快TEOS的去除速率。 | ||
| 搜索关键词： | 用来 抛光 半导体 组合 | ||
【主权项】：
1.一种可用来抛光半导体基材的水性抛光组合物，该组合物包含：0.05-50重量％的磨料；0.001-2重量％的λ-角叉菜聚糖，所述λ-角叉菜聚糖的浓度能够加快TEOS的去除速率。
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