[发明专利]硬质碳膜及其生产方法以及滑动部件

摘要

本发明公开了一种硬质碳膜及其生产方法以及滑动部件。经由中间层(2)形成在基材(1)上的硬质碳膜(3)由类金刚石碳层(6)和在该类金刚石碳层(6)上形成的石墨粒子淀积层(7)组成。该石墨粒子淀积层(7)的I_D/I_G为1或更小，所述I_D/I_G为代表D频带的峰值的积分强度I_D和代表G频带的峰值的积分强度I_G的比率，所述积分强度是通过基于拉曼分光分析对拉曼光谱进行峰值分离获得的。

主权项

1.一种硬质碳膜，包括直接地或经由中间层(2)在基材(1)上形成的类金刚石碳层(6)，所述硬质碳膜的特征在于包括：在该类金刚石碳层(6)上形成的石墨粒子淀积层(7)，其中该石墨粒子淀积层(7)的ID/IG为1或更小，所述ID/IG为代表D频带的峰值的积分强度ID和代表G频带的峰值的积分强度IG的比率，所述积分强度是通过基于拉曼分光分析对拉曼光谱进行峰值分离获得的。