[发明专利]二维横向塞曼双频激光直线度/同轴度测量装置无效
申请号: | 200610169681.X | 申请日: | 2006-12-27 |
公开(公告)号: | CN101210803A | 公开(公告)日: | 2008-07-02 |
发明(设计)人: | 蒋弘;吴健;陈强华;柳忠尧;李睿颖 | 申请(专利权)人: | 北京市普锐科创科技有限责任公司 |
主分类号: | G01B11/26 | 分类号: | G01B11/26;G01B11/27 |
代理公司: | 北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司 | 代理人: | 张涛;许玉明 |
地址: | 100085北京市海*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开一种二维横向塞曼双频激光直线度/同轴度测量装置,包括:双频激光器光源、依次设置在该激光器发射端的光路轴线上的望远镜、分光镜,平行分光镜、第一个及第二个二维渥拉斯顿棱镜和二维直角棱镜,设置在分光镜与第一个二维渥拉斯顿棱镜之间接收返回光的第二检偏器和第二光电接收器、第三检偏器和第三光电接收器,设置在分光镜反射光路上的第一检偏器和第一光电接收器,以及与三个光电接收器相连的双路信号处理单元和显示单元。本发明采用二维光学元件代替一维光学元件,使得水平方向和垂直方向的直线度装置的安装调试和测量一次完成,缩短了测量时间,提高了安装精度,可以更精确地评价被测物体的直线度/同轴度误差状况。 | ||
搜索关键词: | 二维 横向 双频 激光 直线 同轴 测量 装置 | ||
【主权项】:
1.二维横向塞曼双频激光直线度/同轴度测量装置,包括:双频激光器光源、依次设置在该激光器发射端的光路轴线上的望远镜、分光镜,其特征在于,其后在光路轴线上还依次设置有平行分光镜、第一个二维渥拉斯顿棱镜、第二个二维渥拉斯顿棱镜和二维直角棱镜,设置在分光镜与第一个二维渥拉斯顿棱镜之间接收返回光的第二检偏器和第二光电接收器、第三检偏器和第三光电接收器,设置在该分光镜的反射光路上的第一检偏器和第一光电接收器,以及与三个光电接收器相连的双路信号处理单元和显示单元。
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