[发明专利]基板传送方法及其装置

摘要

本发明提供一种基板传送方法，在传送基板时即便是小型基板也不会落下，且传送装置的成本不会增加。另外，对基板的清洗及干燥效果不会变差，装置维护性得以提升，并且对基板进行清洗时，即使提高清洗水压、气压也不会导致基板曲折行进或落下等。在基板(A)的传送路径的上下配置多根轴心和传送路径正交的支撑辊(20)，在各支撑辊(20)与相邻支撑辊(20)之间跨架多条与传送路径平行的循环状的传送圆皮带(21)，并在由传送路径上下的传送圆皮带(21)、(21)夹持基板A的状态下使支撑辊(20)旋转，从而沿着传送路径传送基板(A)。

主权项

1、一种基板传送方法，其特征在于：在基板的传送路径的上下配置多根轴心和传送路径正交的支撑辊，在各支撑辊与相邻支撑辊之间跨架多条与传送路径平行的循环状的传送圆皮带，并在由传送路径上下的传送圆皮带夹持基板的状态下使支撑辊旋转，从而沿着传送路径传送基板。