[发明专利]铺片式周期性金属膜传感器无效
| 申请号： | 200610170519.X | 申请日： | 2006-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN101013088A | 公开（公告）日： | 2007-08-08 |
| 发明（设计）人： | 蒂路玛拉·R·兰格纳斯;米哈伊尔·M·西加拉斯 | 申请（专利权）人： | 安捷伦科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/41 | 分类号： | G01N21/41 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王怡 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 根据本发明，铺片式周期性金属膜传感器可被用于测量液体薄层的折射率变化，从而确定液体组分的变化。铺片式周期性金属膜传感器感知作为波长函数的反射光，并推断流体的折射率变化。为了确定液体组分的变化，要求能够补偿任何环境温度的变化。 | ||
| 搜索关键词： | 铺片式 周期性 金属膜 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种铺片式周期性金属膜传感器单元(335，435)，包括：排列成棋盘图案的第一组(310，410)和第二组(320，420)交替的传感片，其中所述第一组传感片(310，410)包括淀积在电介质基板(399)上的第一金属膜(例如375)，并且所述第二组传感片(320，420)包括淀积在所述电介质基板(399)上的第二金属膜(例如375)，所述第一金属膜(例如375)形成第一周期性图案(325，425)并且所述第二金属膜(例如375)形成第二周期性图案(355，455)，以使得所述第一(325，425)和所述第二(355，455)周期性图案不相同。
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