[发明专利]用于光圈装置的ND滤光器和具备该ND滤光器的光圈装置无效
申请号: | 200610171122.2 | 申请日: | 2006-12-22 |
公开(公告)号: | CN101025449A | 公开(公告)日: | 2007-08-29 |
发明(设计)人: | 吉川宗利;铃木一雄;若林孝幸;内山真志 | 申请(专利权)人: | 佳能电子株式会社 |
主分类号: | G02B5/00 | 分类号: | G02B5/00;G02B1/04;G03B9/02;G03B11/00 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 曲瑞 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供ND滤光器和具备该ND滤光器的光圈装置,以减少由形成ND滤光器的多层膜的蒸发处理中的热胀和收缩引起的塑料基片变形,从而防止产生皱纹。用作ND滤光器的基体的塑料基片由基于聚酰亚胺的塑料材料制成,其具有200℃或更高的玻璃化温度,并具有90%或更高的总的光透射率,并具有表示0.5%或更小的模糊的模糊系数。作为多层膜,在基片上交替形成用于减小反射率的Al2O3膜和用于减小透射率的TiOx膜。作为最上层,形成由低折射率材料制成的MgF2膜,以进一步减少反射。在蒸发工艺中,即使在塑料基片的温度几乎达到200℃时,该塑料材料的足够高的玻璃化温度也可以抑制在塑料基片的形成有多层膜的部分上产生皱纹。 | ||
搜索关键词: | 用于 光圈 装置 nd 滤光 具备 | ||
【主权项】:
1.一种用于光圈装置的ND滤光器,其中利用蒸发法在由塑料材料制成的塑料基片上形成至少一个用以减少透射光量的多层薄膜,并且所述塑料材料的玻璃化温度不低于200℃。
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