[发明专利]具有可变筛孔的离子注入系统及使用其的离子注入方法无效
| 申请号： | 200610172141.7 | 申请日： | 2006-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN101009191A | 公开（公告）日： | 2007-08-01 |
| 发明（设计）人： | 李承熙;梁英守;金承彻;崔灿承;张圆培;金民锡 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01L21/265;H01L21/425;C30B31/22 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 戎志敏 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种离子注入系统包括：源部分、束线部分、具有压盘的目标腔室、和具有剂量杯和第一可变筛孔的法拉第部分，其中，压盘能够沿第二方向移动且支撑半导体衬底，并且第一可变筛孔包括具有沿第一方向的第一可调宽度的第一开口。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 可变 离子 注入 系统 使用 方法 | ||
【主权项】：
1.一种离子注入系统，包括：源部分；束线部分；具有压盘的目标腔室，压盘能够沿第二方向移动且支撑半导体衬底；以及法拉第部分，具有剂量杯和第一可变筛孔，其中第一可变筛孔包括具有沿第一方向的第一可调宽度的第一开口。
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